技術(shù)文章
晶圓、陶瓷基板、引線框架、FPC 柔性電路板在封裝、鍵合、底部填充工序前,表面潔凈度、潤濕性是影響封裝良率的核心要素。有機(jī)殘留、氧化層、清洗,會(huì)造成膠水潤濕不良、分層、空洞、虛焊等缺陷。半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)檢測(cè)數(shù)據(jù)穩(wěn)定性、重復(fù)性、溯源性要求嚴(yán)苛,急需精密儀器量化表面狀態(tài)。藍(lán)景光學(xué)接觸角測(cè)量儀滿足半導(dǎo)體精密制造潔凈檢測(cè)需求。
儀器采用光學(xué)成像法采集液滴輪廓,依托非軸對(duì)稱液滴擬合算法,即便基板輕微粗糙、液滴發(fā)生形變依舊可以輸出穩(wěn)定可靠數(shù)據(jù)。通過接觸角數(shù)值計(jì)算固體表面自由能及其極性、色散分量,直觀判斷晶圓清洗效果、等離子活化處理水平,預(yù)判底部填充膠、塑封料在基材表面的鋪展與粘附能力。懸滴法模塊還可配套評(píng)估光刻膠、助焊劑、封裝膠水的表面張力特性,輔助原材料篩選。


硬件層面全自動(dòng) Z 軸升降系統(tǒng)定位精準(zhǔn),微量進(jìn)樣裝置輸出液滴體積高度一致,消除人為操作誤差;輔助對(duì)焦功能保證每一塊基板成像基準(zhǔn)統(tǒng)一,批次對(duì)比數(shù)據(jù)具備參考價(jià)值。500 萬高清工業(yè)相機(jī)搭配低畸變遠(yuǎn)心鏡頭,清晰捕捉微小液滴輪廓,有效規(guī)避微小污染物帶來的圖像干擾。支持前進(jìn)角、后退角測(cè)試,通過接觸角滯后判定基板表面均勻程度,識(shí)別局部污染區(qū)域。
整機(jī)鋁合金剛性機(jī)架抗振動(dòng),適配實(shí)驗(yàn)室與潔凈車間環(huán)境;支持中英文雙語軟件,數(shù)據(jù)自動(dòng)標(biāo)注樣品信息、時(shí)間戳,十萬級(jí)數(shù)據(jù)庫長久存儲(chǔ)檢測(cè)記錄,斷電不丟失,滿足半導(dǎo)體行業(yè)嚴(yán)苛的數(shù)據(jù)追溯規(guī)范。檢測(cè)流程標(biāo)準(zhǔn)化,可建立 SOP 作業(yè)程序,方便不同人員操作,降低人為偏差。檢測(cè)模式無損、快速,不會(huì)損傷精密晶圓與線路基板。
儀器廣泛用于晶圓 CMP 后清洗檢測(cè)、HMDS 預(yù)處理效果評(píng)估、PCB 焊盤潔凈度篩查、芯片基板等離子工藝驗(yàn)證。參照 JJF 2099-2024 校準(zhǔn)規(guī)范,儀器便于定期計(jì)量,保障長期數(shù)據(jù)可信度。藍(lán)景接觸角測(cè)量儀幫助半導(dǎo)體企業(yè)建立潤濕性質(zhì)控標(biāo)準(zhǔn),提前預(yù)警工藝波動(dòng),有效降低封裝分層、空洞等不良缺陷,提升芯片封裝良率。
掃碼加微信