技術文章
半導體晶圓制造、光伏還原工藝、鋰電池化成車間普遍使用氫氣作為保護氣氛或工藝氣體。高純工藝腔體內氫氣純度直接影響產品良率;車間管路、腔體泄漏會造成氫氣積聚,引發爆炸風險。對儀器測量精度、氣體抗干擾能力、續航能力都提出較高要求。藍景便攜式氫氣分析儀適配新能源與半導體潔凈車間檢測場景。
半導體高純工藝管控優選熱導式機型,量程 0~100% vol,精準分析保護氣氫氣純度,及時發現腔體漏氣、供氣不純等問題;車間環境泄漏巡檢選用電化學 ppm 級別機型,排查管道接頭、閥門微小泄漏。傳感器針對性優化,抵御車間常見工藝副產物干擾,測量結果穩定、重復性≤±1%。


7 英寸觸控圖形界面直觀易用,實時曲線便于工藝人員觀察濃度波動,支持自動定時記錄數據,長時間腔體取樣測試無需人工持續記錄。搭載先進 BMS 電池管理系統,精準管控電量,避免潔凈車間巡檢中途停機。超長續航機型連續工作可達 37 小時,滿足廠房多層車間巡回檢測。模塊化設計,過濾器易于更換,阻擋潔凈環境中少量粉塵,保護核心傳感器。
整機結構緊湊輕便,折疊提手便于人員攜帶穿行生產線;支持擴散式與泵吸式兩種進氣方案,狹小設備腔體可外接采樣管路檢測。所有檢測數據通過 USB 導出 Excel 格式報告,便于品質部門存檔追溯。儀器工作溫濕度區間寬泛,適應潔凈車間恒溫環境,也可用于外圍動力氣體管路巡檢。
應用場景涵蓋晶圓退火氣氛檢測、硅片光伏還原爐氫氣監測、鋰電池車間氫氣泄漏巡檢、氣體輸送管路密封性測試。藍景便攜式氫氣分析儀依靠高精度、低漂移、長續航特性,幫助新能源、半導體企業穩定工藝參數,消除車間氫氣安全隱患,保障產品良率與生產安全。
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